- ID
-
ocds-pyfy63:2022-343348:obj:0
- Classification
-
CPV /
38540000
- Description
-
Przedmiotem zamówienia jest dostawa, instalacja, uruchomienie, testowanie fabrycznie nowego urządzenia do trawienia plazmowego (RIE, reactive ion etching) w plazmie o podwyższonej gęstości (ICP, inductively coupled plasma) z modułem do trawienia warstw atomowych (ALE, atomic layer etching) wraz z obsługą gwarancyjną, serwisową, dokumentacją i szkoleniami.